众所周知目前电子产品行业的发展可谓是火热朝天,手机,电脑,TWS蓝牙耳机,智能音箱,智能电视,等等一系列的电子产品,但是谈们都离不开最核心的东西—芯片。目前大家比较熟知的华为,高通,联发科技,英特尔,三星,苹果等公司都拥有自己的主打芯片,而且最近几年随着手机行业的竞争手机芯片几乎也是随着每年的自家的旗舰机发布会上官宣自己家最新制作工艺的芯片,而且近几年的发展对于14纳米,7纳米制程的制作工艺来说需要更高的精度高的光刻机。
目前能够生产光刻机的厂家有中国上海微电子,日本的尼康,佳能,最著名的荷兰ASML(阿斯麦尔)。
在2000年的时候荷兰的阿麦斯还不是很出名,日本的尼康还是业内的巨头直到ASML推出浸入式193nm产品的前后脚,在当时浸入式这一小小的改进却带来了意想不到的效果,所以很多半导体厂商纷纷去订购ASML的机器,导致尼康的157nm的产品几乎无人问津。自此ASML在光刻机领域便慢慢地打开了自己市场,尼康的一次落后再也没能赶上市场的步伐,在高端市场ASML在2009年的时候就几乎占据了70%的市场。以后日本的佳能和尼康一直能在中端市场卖自己的产品。
我国的上海微电子smee早在2018年时已经在验证65nm工艺的光刻机,目前从技术和时间上来说差不多有能力可以实现量产。但是由于欧美技术产品的封锁导致研发进度很慢。荷兰ASML光刻机之所以能做成,最关键的一点就是能在全球范围内拿到最好的配件。如德国蔡司的镜头,美国的光源系统,瑞典的轴承。几乎都是全球最顶尖的技术产品。德国的蔡司镜头技术拥有百年技术沉淀,以及瑞典的轴承,很多人都认为日本和德国的轴承尤其是日本的NSK轴承。但是相比于瑞典的SKF轴承在某些领域还是有些不足。光刻机中的载玻片与载胶片需要同步误差在2纳米以内。这个技术不是一般人能达到的。这只是其中的一部分每年这些企业要生产这些精度比较高的配件都要花费很多时间精力与金钱。还包括其他的配件。荷兰的阿麦斯公司每年花大量的资金去全球采购,自己调试。
目前最顶尖的ASML7nm光刻机整体有13个子系统,ASML公司拿到这些从不同国家采购到的配件还要在经过自己的精密设计和多次调试。而且一台EUV光刻机的重量将近200吨,零件更是10万+。单单从这么多的零件来看要生产这么精密的机器就是一件耗时耗力的事情。所以ASML每年出售二十多台已经是很不容易的了,更何况每台售价超一亿美元。