早在中国60年代就开始研发过芯片光刻机研究,比美国稍晚,跟当时日本差不多同时起步,比当时的韩国,台湾要早十几年,60年代中国科学院就研制出了第一台接触式光刻机……

70年代中国科学院开始研制计算机辅助光刻掩模工艺,清华大学研制第四代分步式投影光刻机,并在1980年就获得成功光刻精度达到了3微米,接近世界先进水平,那时候的ASML还没诞生呢……

可惜的是不知道是什么原因,中国在1980年代放弃电子工业,导致20年技术积累,全部付诸东流。
(可能听信了当时国内伪专家的谗言什么所谓的科技无国界)想着买现成的产品省钱省力,也有可能是当时中美刚刚建交美国下的套,诱骗中国放弃自己研发,买美国现成的产品,导致了今天中国芯的受制于人……希望中国芯片研发早日有所突破“爹有娘有不如自己有”不再核心技术受制于人!

