从美国对我国高科技企业的打压，看中国芯片光刻机发展...

从美国对我国高科技企业的打压，看中国芯片光刻机发展遇到的困难  沙眼看世界 2019-04-28 17:43:31
说到光刻机，我们首先来说一下光刻机的生产企业。
光刻机现在是ASML一家独大，高端的光刻机更是让ASML一家垄断。而再次之前光刻机是由ASML，尼康，佳能三家平分的天下。而且尼康和佳能比ASML还是领先的。
ASML超过日本的尼康和佳能这里就会涉及到台积电。以前的光刻机是干式光刻机。到了2002年这种工艺的光刻机发展到了瓶颈，芯片的工艺水平无法得到提升了。而此时台积电一位工程师提出了浸润式光刻机的概念。2004年ASML开始对此想法进行主导研发，台积电在背后提供技术协助。2007年浸润式光刻机研制成功。并把芯片的65nm制造工艺提升到了45nm。
从此ASML占据了绝大部分的光刻机的市场份额。世界上主要的芯片生产商台积电，三星，英特尔都投入到了ASML怀抱。2012年英特尔，台积电，三星分别以注资或者入股的方式促进ASML新型光刻机的研发。而台积电成立之初ASML的母公司荷兰飞利浦是其第二大股东。他俩关系就是你中有我我中有你的一家人。
日本的佳能和尼康因为技术落后被ASML抢去大部分市场份额，就此在光刻机行业衰落。而当时中国对于光刻机十分渴求。但是因为《瓦森纳协定》佳能和尼康不能向中国出售高端的光刻机。这些最后导致了ASML在光刻机领域一家独大。
从这些事件的关联就可以看出台积电，三星，英特尔在芯片生产制造先人一步的原因了。


然后我们再来说一下我国最大，最先进芯片生产制造企业中芯国际。
2000年中心国际在台湾人张汝京的带领下成立。
2003年的产能就达到了每月6万片，累计销售收入达到了30亿元，并很快跃升为全球芯片代工的前三甲，规模直指台积电。
然而就在此时台积电分别向美国加州北区地区法院、美国加州奥克兰阿拉米达郡高级法院、美国国际贸易委员会把中芯国际告了。请求判定中芯国际及在内地的三家公司侵犯专利权、窃取商业秘密、不正当竞争和干扰经营关系，要求其支付10亿美元违约金
2005年中芯国际和台积电达成和解，代价是赔偿台积电1.7亿美元并且不在侵权。
2006年台积电以侵权的理由再次起诉中芯国际，这场官司一直打到2009年。最后中芯国际赔偿台积电2亿美元和不再侵权。这也直接导致创始人张汝京离开了中芯国际。
受此影响中芯国际不但没有先进光刻机，在生产技术和经验也大大的落后世界上其他芯片生产企业。这时候中芯国际连企业生存都成了问题。
2018年ASML终于对中国解禁了EUV光刻机的禁运。并向中芯国际销售一台，这一台最快将于2019年底才能生产出来。而且这一台EUV光刻机根本无法形成量产。
早在2017年台积电就订购了5台EUV光刻机。而后台积电又向ASML订购了18台EUV光刻机。到2019年7nm工艺的芯片已经形成量产了。5nm的制造工艺也开始实验了。这中间中芯国际又落后了。


是什么原因导致了ASML解禁对中国的先进光刻机禁运的呢！那就先来看看近几年我国在光刻机的取得了哪些突破。
上海微电子是我国最先进的光刻机研发和制造的企业。2007年上海微电子研制出了我国首台90nm光刻机，成为世界上第四家掌握高端光刻机技术的公司。该机研制中采用了大量的国外的关键配件，而在得知我国研制出90nm光刻机后，国外的公司对这些关键器件实行了禁运。是其研制出的光刻机成了摆设。
面对此困难全国科研机构决定通力合作，攻克遇到的科研难关。第一道难关曝光光学系统，长春光机所和国防科技大学联合研制出来了。并在上海微电子90nm光刻机整机上获得了满足光刻工艺要求的85nm极限曝光分辨率的成果，全面掌握了浸没式28nm光刻机以及更高水平的光刻机曝光光学系统。
第二个难关光刻机的激光光源，经9年努力我科学院光电研究院研制出了65nm ArF 步进扫描双工件台光刻机曝光光源和45nm以下浸没式曝光光源研制。
第三个难关光刻机工件台，清华大学研制出了满足90纳米光刻需要的工件台，还针对28至65纳米光刻配套的双工件台也已研制成功。
第四个难关光刻机浸液系统，浙江大学经多年研究，研制出浸液控制系统样机。
这四个光刻机关键技术也使我国光刻机技术，在于ASML光刻机技术进一步缩小。


也就在此时ASML提出与上海微电子重新建立合作伙伴关系。并且同意向中国出售最先进的EUV光刻机。还声称中国客户在内的全球客户都一视同仁，从来没有对中国出售最先进光刻机进行所谓的“禁运”，愿意随时给我国出口光刻机。
这就出现了上面写到的ASML向中芯国际出售EUV光刻机的事情。
ASML不但同意向中芯国际出售最先进的EUV光刻机。还和中国的华虹半导体、长江存储、合肥长鑫、英特尔大连厂、SK海力士西安厂、福建晋华等展开合作。在2018年上半年，中国市场已占阿斯麦营收约20%。

出售给长江存储的浸润式光刻机

这些都是西方对于中国高科技企业惯用的手法。当你没有时我对你禁运。当你开始研制时我出售给你向你，卖给你目的就是打压你的研发。然后再安装费，调试费，修理费收取高昂的费用。最后你研发真的取得实际意义的成果就开始谋求和你合作，以此来窥探你的研发成果。然后再中国开始建厂或者中国次级企业合作。让你研制成果无法形成商用。这是进一步打压你的对高科技技术的研发。
这里最典型的一个例子就是中国和美国麦道飞机合作研发。80年代我国开始研制大飞机。而后再美国政府推动下和麦道公司合作。在项目进行到热火朝天的时候，麦道被波音收购并宣布终止合作。这也使我们在此项目的投资收不回来，是其受到了巨大的损失。


当你弱的时候别人都会欺负你，当你开始发展时就开始打压你，当你足够强大时别人才会尊重你顺从你。
而此时的华为，中兴，福建晋华和中国好多高科技企业正在受到美国的打压。因为这些高科技企业再5G和别的高科技领先，让美国慢慢感到害怕了。

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龚老师，好厉害