我国光刻技术是什么水平？上海微电子将交付首台国产28nm...

我国光刻技术是什么水平？上海微电子将交付首台国产28nm光刻机封面商业 2020-05-17 21:57:42

近日，知乎上的一个问题引发了网友的关注，“我国的光刻机开发得怎么样了？”在新闻中，我们经常可以看到关于光刻机在我国的研制进展，然而它是做什么用的，在我国的发展水平，你真的了解吗？或者是，真的像新闻说的那样，达到了世界先进的水平吗？

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光刻机（Mask Aligner），也称掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等。所谓“光刻”，就是用光来制作一个图形，具体操作大概是——在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上，即将器件或电路结构临时“复制”到硅片上。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。

由于光刻机的制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，而全球也仅有几家制造商掌握，而它又是生产大规模集成电路的核心设备，不少国家和企业都希望获得这项技术从而开展自身的研发。这样的形势导致光刻机价格高昂，且有钱也不一定能买到，价格通常在3千万——5亿美元不等。

目前，可以生产光刻机的主要厂家包括ASML、尼康、佳能、欧泰克、SMEE上海微电子装备、SUSS、ABM等，位于荷兰的ASML是世界上光刻机技术较为成熟的企业。

据悉，上海微电子装备计划于2021年交付首台国产28nm的immersion光刻机，即使这一技术的交付对比ASML有着近20年不足，但对于国内光刻机制造来讲，已经将要跨出了很大的一步。

看到这里，你可能会明白了，我国的光刻机技术并不先进，甚至可以用“相对落后”来形容。光刻机直接限制了相关电子设备的发展，例如华为的芯片制造，由于它没有自己的芯片加工厂，长期以来一直在依靠台积电、中芯国际来代工。而长时间以来，美国对华为的施压始终存在，华为不得不调整自己的采购方向。

但是，有一个关键的问题，华为的手机产品使用的芯片为7纳米，而这类尺寸的芯片只能依靠ASML的EUV光刻机（7纳米）来量产。但是中芯国际并没有这个光刻机，此前，该公司曾向ASML订购了EUV7纳米光刻机，但是美方的频频施压令ASML始终没有发货，后来中芯国际受收到了ASML发来的另外一台非EMU技术的光刻机，虽然对该公司的光刻技术有一定的研发参考作用，但仍旧无法对华为需要的7纳米芯片进行量产。

2019年，台积电、三星电子、英特尔分别都收到了ASML的EUV光刻机，因此华为如果想加工它的7纳米芯片，只能找这些公司，但分析来看，只有三星电子或许有一些可能。

首先，美方对于台积电的控制大家都有一定了解，为限制华为的技术发展，美方限制台积电对华为提供芯片等技术的加工；而英特尔是美国的企业，更不可能放无视国家的管制措施来加工华为的产品；只有三星电子，在我国近期与日韩公司合作的范围内。至于其它光刻技术的公司，目前没有ASML的EUV光刻技术，而等技术研发出来，不知道要到猴年马月。

据一位从事光刻技术研发的网友介绍，半导体、芯片这类行业事实上很庞大，不是像人们想象那样，拿着高额的工资，做一些炫目的技术操作那么轻松。从硅的采集、提纯，到晶圆的切割、光刻八步，再到刻蚀、芯片测试，最后封装，每一个步骤对技术的要求都及其严苛，而“光刻”是成本最高、经验最匮乏的一步。

总体来看，我国的光刻技术还有很长的路要走，不过中国科学家们的智慧是无穷的，我们已经走过了两弹一星的光辉旅程，相信一定会在“光刻”之路继续前行。

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737 条评论

评论

• 怒海圣龙 4天前
  

  还是与荷兰有大的差距，不过有一就是有二了，随着技术的成熟和进步，总有赶上的一天。同时也要有发展下一代产品的想法，光刻机也不能就这么一直小下去，总会到达物理极限。

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• 四川盆盆游 3天前
  

  你看现在的技术工种工资跟普工一样，你觉得能做出什么东西来？

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• 用户3427138978212 4天前
  

  从光刻机事件上可以看出，还是学习好物理化学更重要，从病毒上看，还是学好生物重要，英语并不是必须的。落后就会被挨打！

  回复 ⋅ 63条回复202
  
  
  
• 等佛祖送尼姑做老婆 4天前
  

  想想高级核心技术的产品，我们中国好像真的没有什么。芯片、航空发动机、汽车发动机、精密轴承、机床、医疗器械仪器、高级拍摄镜片等等，好的都要进口

  回复 ⋅ 1条回复0
  
  
  
• 心息相恋 4天前
  

  从90nm到28nm，这已经是很好的进步了，高技术的路总是要一步步走的，只能争取走快一些，并不能穿越空间

  
  
  

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